یک روش نسبتاً جدید است که از توسعه طیف سنجی جرمی توسط پلاسمای جفت شده القایی ICP-MSبه وجود آمده است (دیت و جارویس، ١٩٨٩ ). این روش به طور افزاینده ای به عنوانابزاری برای تجزیه عناصر کمیاب و ایزوتوپ ها مورد استقبال قرار می گیرد و این به خاطر حدآشکار سازی بسیار پایین و صحت و دقت خوب این روش است. روش فوق برای تجزیه دامنه گسترده ای از عناصر کمیاب در یک محلول منفرد به کار می رود و مقدار کمی نمونه لازم دارد(جنر و ھمکاران، ١٩٩٠ ). یون های موجود درپلاسما از طریق یک سوراخ به اندازه سوزن به داخل یک سیستم خلأ کشیده شده ویک سیستم خلأ کشیده شده و به وسیله یک عدسی یونی در درون طیف سنج جرمی متمرکز می شوند.