به نام یکتا خالق بی همتا
دانلود مقاله ،سمینار و پروژه کامل مهندسی با موضوع " لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی " با فرمت WORD
Electron Beam Evaporation
فرمت فایل : word ( قابل ویرایش )
تعداد صفحات : 13 صفحه
کاربرد فایل :تهیه و ارائه مقالات جهت همایش ها و سمینارهای علمی،ارائه سمینار کارشناسی ارشد، تهیه پروپوزال، پروژه پایانی دوره کاردانی و کارشناسی و کارشناسی ارشد ،تهیه گزارش کارآموزی ،پایان نامه کارشناسی و کارشناسی ارشد،تهیه گزارش کار آزمایشگاه، پروژه، طرح پژوهشی دانشگاهی ، تحقیق ، مقاله نویسی ، تحقیقات کلاسی دانشجویی ،کافی نت ها
رشته های مورد نیاز : مهندسی مواد، مهندسی متالورژی، مهندسی مکانیک،مهندسی شیمی،مهندسی پلیمر،نانو مواد،،مهندسی سرامیک،جوشکاری،مهندسی شیمی، صنایع شیمیایی،مهندسی معدن،مهندسی نفت،مهندسی بازرسی جوش ،مهندسی ساخت و تولید ، مهندسی برق ، مهندسی الکترونیک ،مهندسی برق قدرت ، کنترل ، مهندسی پزشکی ، ، مهندسی عمران و سایر رشته های فنی و مهندسی که به مباحث مهندسی لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی نیاز دارند
خلاصه و سر فصل مطالب ارائه شده در این فایل ورد با موضوع لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی به فرمت word :
ارائه دهنده :
mypro.sellfile.ir
لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی
Electron Beam Evaporation
پوشش دهی یکی از مهمترین بخش های مهندسی سطح است که امروزه با پیشرفت صنعت لایه های نازک و پوشش دهی، این فناوری وارد بخش های گوناگون صنعت شده است که می توان به کاربرد آن در ادوات اپتیکی، میکروالکترونیک، معماری و ساختمان اشاره کرد. روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک به کار گرفته می شود. یکی از این روشها، لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition - PVD) است که در خلا انجام می شود. یکی از روشهای لایه نشانی فیزیکی بخار، تبخیر به کمک باریکه الکترونی (Electron Beam Evaporation) است.
سه مرحله اصلی در هر فرایند لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه که می خواهیم آن را با ماده منبع پوشش دهیم و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیر لایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است که با کنترل مقدار ماده انباشت شده می توان ضخامت لایه را تنظیم کرد. در روش لایه نشانی تبخیر با استفاده از باریکه الکترونی، انرژی مورد نیاز برای تبخیر ماده منبع از انتقال انرژی الکترون ها به هدف یا ماده منبع تامین می شود.
1- مقدمه :
یکی از روش های لایه نشانی، تبخیر باریکه الکترونی (Electron Beam Evaporation) است که جز روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition PVD) محسوب می شود. از آن جایی که در فرایند لایه نشانی مبتنی بر تبخیر حرارتی گرمای بسیار بالایی برای انجام تبخیر نیاز است در صورت حضور گاز اکسیژن، چنانچه فلز تبخیر شده واکنش پذیر باشد اکسید فلزی تشکیل شود. از طرفی حضور مولکول های هوا در مسیری که ماده تبخیر شده از منبع به سمت زیرلایه حرکت می کند، نرخ لایه نشانی را کاهش می دهد و مانع از تشکیل لایه با چگالی بالا می شود. بنابراین بایستی لایه نشانی در محیط خلا که تعداد مولکول ها کاهش یافته اند و تعداد برخوردها کمتر است انجام شود. بنابراین؛ این روش معمولا در شرایط خلا بسیار بالا (9-10 تا 12-10 تور) قابل انجام است. معمولا ابتدا از یک پمپ مکانیکی برای پیش پمپ و از پمپ توربو برای رسیدن به این مقادیر خلا استفاده می شود.
در فرایند تبخیر حرارتی با استفاده از باریکه الکترونی، باریکه ای از الکترون های پرانرژی از فیلامان (رشته داغ) به سمت ماده منبع گسیل می شود و..........
ادامه ...............
فایل فوق العاده کامل این سمینار ،پروژه و مقاله مهندسی به فرمت ورد را با موضوع لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی می توانید پس از تکمیل خرید و پرداخت در سایت بانک و ارجاع مجدد به این سایت با فرمت word را در13 صفحه کامل در اختیارداشته باشید